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數字化工廠物流供應鏈聯合創新典范，突破封鎖助力中國芯

應用：半導體生產線對晶棒、晶圓片等原料的無人化智能上下料
應用：半導體生產線對晶棒、晶圓片等原料的無人化智能上下料
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用戶是國內知名的半導體晶圓生產企業，近年來面對市場柔性化的生產需求，亟需提升廠內物料搬運的靈活性和穩定性。


挑戰

針對晶圓昂貴且易碎的特性，用戶需要實現平穩安全的配送。且無塵室的作業環境，產品加工工序復雜繁多，用戶希望借助移動機器人來提升廠內物流配送效率，增強產線生產的靈活性和應變能力。


方法

用戶部署了數臺迦智EMMA400舉升車、EMMA 400升降輥筒車、復合移動作業機器人和調度系統CLOUDIA。

根據下發的指令信息，EMMA400輥筒車前往原料庫取出硅棒，送至粘棒間；EMMA400舉升車將料盤分別在粘棒間、線切區域及脫膠清洗等各制造工序間流轉；復合移動作業機器人則配合產線需要，進行晶圓半成品在各制造工作站間的自主轉運和上下料。所有的機器人通過調度系統CLOUDIA的統一調度，高效協同作業，全程無人干預。


成果

項目成功實施后，用戶改善了產線產能，提升了產線智能化水平，實現靈活移動、精密上下料，極大提升了生產柔性。


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